《半导体技术》和《微纳电子技术》简介
来源：战略规划部
发布时间：2023年03月29日
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《半导体技术》和《微纳电子技术》均是由中国电子科技集团公司主管、中国电子科技集团公司第十三研究所主办的科技期刊。两刊均为中文核心期刊、中国科技核心期刊，被中国期刊网、中国学术期刊（光盘版）、万方数据数字化期刊群入网期刊、中文科技期刊数据库等国内数据库，美国《化学文摘》（CA）、美国《剑桥科学文摘》（CSA）、英国《科学文摘》（SA, INSPEC）、俄罗斯《文摘杂志》（AJ,VINITI）、美国《乌利希期刊指南》（Ulrich’s） 等国外数据库收录。
《半导体技术》栏目分为：趋势与展望，半导体材料与器件，半导体制备技术，集成电路设计与应用，封装、检测与设备。聚焦半导体技术领域材料、器件、集成电路等方向的设计与应用，策划出版最新研究成果。
《微纳电子技术》栏目分为：技术论坛，器件与技术，材料与结构，MEMS与传感器，加工、测量与设备。主要内容包括：纳电子学、微系统与纳系统、纳电子器件与技术、纳米材料与结构、纳米测试技术、MEMS器件与技术、微细加工技术与设备、纳米技术应用等领域国内外的最新进展，并兼顾微电子领域的最新研究成果。
《半导体技术》编辑部
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